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目前國內成熟的脫硝工藝主要分為兩類，一類氧化法，另一類是還原法。氧化法是將一氧化氮（NO）用強氧化劑氧化為易溶的二氧化氮（NO2）和五氧化二氮（N2O5），緊接著用鈣基溶液同時吸收二氧化硫（SO2）和二氧化氮（NO2）和五氧化二氮（N2O5）。還原法是通過還原劑將一氧化氮（NO）還原成氮氣（N2）和水（H2O）。
類氧化法脫硝技術
煙氣中90%以上的氮氧化物（NOx）為一氧化氮（NO），其在水中溶解度較低，無法被脫硫系統有效吸收。與NO相比，NO2和N2O5在水中更容易被吸收。氧化吸收技術將難溶于水的NO氧化為高價態NOx，利用高價態NOx易溶的特性，借助原有的濕法脫SO2工藝脫硝。相比于SCR和活性炭吸附技術，氧化吸收技術能夠利用已有設施。目前報道較多的氧化方法有非熱等離子體氧化、電子束煙氣處理、光催化等以及使用臭氧O3、NaClO2、NaClO、H2O2、ClO2和KMnO4等氧化劑直接氧化NO。
綜合來看，臭氧（O3）具有低溫條件下氧化效率高、氧化選擇性強、氧化產物無二次污染的優點。因此，臭氧作為NOx氧化劑的優勢明顯。該法實施較簡便，對于已有濕法脫SO2的工廠只需在前面設置氣相氧化設備就可完成。
低溫條件下，O3與NO之間的關鍵反應如下：
臭氧脫硝技術臭氧與一氧化氮反應方程式
臭氧脫硝技術工藝流程
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